SIASUN Vacuum Transfer Platform Diagram 600 (Diagram 600)

Selles kontekstis viitab "vakuuülekande platvorm" tavaliselt integreeritud alamsüsteemile, mis võimaldab kiipide liikumist laadimis/mahalaadimisliidestest ja vakuu-põhistest protsessimoodulitest, säilitades kontrollitud rõhu tingimused, et vähendada saastumise riski ja toetada korduvaid tootmisvooge.

Avalikud tootekirjeldused Diagramm 600 kohta iseloomustavad seda platvormina, mida kasutatakse peamiselt kiipide ülekandmiseks pooljuhtide tootmisrajatises, ning kirjeldavad arhitektuuri, mis koosneb laadimis/mahalaadimisruumidest (laadimislukud), ülekandekambrist, eelhäälestajast ja vakuurobotist, koos vakuu eemaldamise ja tagasitäitmise funktsioonidega, et toetada kõrge puhtuse toimimist.

Laiemas pooljuhtide töötluses asuvad vakuuülekande platvormid eespool esipoolse automatiseerimise (tihti EFEM või FOUP liides) ja protsessikambrite vahel. Nende peamine eesmärk on liikuda kiipide all vakuu (või kontrollitud vakuu üleminekute kaudu), et protsessikambrid ei peaks tsüklite vahel atmosfääri ventileerima - lähenemine, mis toetab tootlikkust ja protsessi stabiilsust.

Kujundus ja omadused

Süsteemi tasandi arhitektuur

Tüüpiline vakuuülekande platvorm on korraldatud mitme ruumi ja liidese ümber:

• Laadimis/mahalaadimisruumid (laadimislukud): Vahekambrid, mis tsüklitavad atmosfäärirõhu ja vakuu vahel, võimaldades kiipide sisenemist/väljumist vakuu tööriistadest ilma peamise vakuu keskkonna ventileerimiseta.

• Ülekandekamber: Keskne vakuu kamber, mis pakub kontrollitud keskkonda, kus kiibi käsitsemise robot liigutab substraate liideste vahel.

• Vakuurobot: Sisemine käsitsemismehhanism, mis teostab korje/paigutamise operatsioone vakuu all.

• Eelhäälestaja (kiibi suunaja): Moodul, mida kasutatakse kiipide suunamiseks või keskendamiseks enne ülekandmist protsessimoodulitesse või allavoolu käsitsemise positsioonidesse.

SIASUNi Diagramm 600 loetelu nimetab selgelt need põhikomponendid -laadimis/mahalaadimisruumid, ülekandekamber, eelhäälestaja ja vakuurobot- kui peamised funktsionaalsed elemendid.

Vakuu eemaldamine ja tagasitäitmine

Diagramm 600 kirjeldus viitab ka "vakuu eemaldamisele ja tagasitäitmisele" , mis on suunatud kõrge puhtuse toimimisele. Pooljuhtide vakuu süsteemides kasutavad laadimislukud ja ülekandemoodulid tavaliselt kontrollitud pumpamise ja ventileerimise (tagasitäitmine) protseduure, et üleminekud kiipide vahel atmosfääri käsitsemise ja vakuu töötlemise vahel toimuksid, vähendades osakeste sisenemist ja piirates rõhuhäireid.

Puhtuse ja saastumise kontrollimise eesmärk

Pooljuhtide kiipide ülekandmine vakuu all on tugevalt seotud saastumise kontrollimisega. Tööstuse viidatud allikad kirjeldavad, kuidas kiibid siseneb ja väljub vakuu tööriistadest läbi laadimislukukambrite , et säilitada õige vakuu tase ja toetada osakeste tundlikke protsesse. Diagramm 600 esitatakse "kõrge puhtuse" kui keskse tegevuse eesmärgiga, mis on kooskõlas motivatsioonidega vakuuülekande platvormide jaoks kiipide tootmisprotsessides.

Tehnoloogia ja spetsifikatsioonid

Põhifunktsionaalsed moodulid

Avalik teave Diagramm 600 kohta on tavaliselt kõrgel tasemel. Tooteloendis tuuakse välja platvormi peamised elemendid, kuid ei avaldata täielikku andmelehte (nt kiibi suuruse tugi, pumpamise kiirus, roboti korduvus, tsükli aeg). Avalikult öeldakse, et Diagramm 600 "peamiselt hõlbustab kiipide ülekandmist" ja sisaldab järgmisi mooduleid:

• Laadimis/mahalaadimisruumid (laadimislukud)

• Ülekandekamber

• Eelhäälestaja

• Vakuurobot

• Vakuu eemaldamise ja tagasitäitmise võimekus

Kuidas vakuuülekande moodulid tavaliselt töötavad

Pooljuhtide vakuu tööriistades laadimislukukambrite toimivad rõhu ülemineku puhvrina. Kiibid siseneb/väljub laadimisluugi kaudu, et saavutada sihtvakuu tase enne, kui need antakse üle vakuu ülekandekambrisse. Ülekandekambristransportib robotkäsi kiipe liideste ja ühendatud protsessimoodulite vahel. Patendid ja tehnilised kirjeldused kujutavad sageli seda seadistust: protsessikambrid, mis on ühendatud ülekandekambriga, kus robot liigutab kiipe protsessikambrite ja laadimislukude vahel.

Eelhäälestamise roll

eelhäälestajat (tuntud ka kui suunaja/häälestaja) kasutatakse, et tagada kiipide õige suunamine enne, kui need laaditakse järgmistele etappidele. Patendikirjanduses, mis kirjeldab vakuu süsteeme, viidatakse sageli kiibi häälestajatele, mis asuvad esiosas või ülekandeteel, et tagada õige suund, kui laaditakse protsessi või laadimisluugi kambritesse.

Märkused "Diagramm 600" kohta kui toote nimetuse

"Diagramm 600" ilmub osa/mudeli nimetuse SIASUNi vakuuülekande platvormi jaoks jaoturistiilis loeteludes. Ilma avaliku SIASUNi inseneri andmeleheta saadaval olevates allikates tuleks mudelispetsiifilisi numbrilisi spetsifikatsioone käsitleda kui hinnapakkumise ja konfiguratsiooni sõltuvaid.

Rakendused ja kasutusjuhtumid

Pooljuhtide kiipide tootmine

Peamine rakendus, mida Diagramm 600 jaoks kirjeldatakse, on kiipide ülekandmine pooljuhtide tootmisrajatises. Tüüpilised kasutusjuhtumid hõlmavad:

• Kiipide ülekandmine laadimisluugi moodulite ja protsessitööriistade vahel , mis nõuavad vakuu keskkondi (nt, sadestamine, graveerimine, pindade töötlemine).

• Toetamine mitmeastmeliste tööriistaklastrite puhul, kus mitu protsessimoodulit on ühendatud ühe vakuu ülekandekambriga.

Vakuu protsessitööriistade klasterdamine

Vakuuülekande platvorme kasutatakse sageli kluster tööriistade arhitektuuride ehitamiseks, kus mitu protsessikambrist on ühendatud ümber keskse ülekandekambri. See toetab kiipide liikumist etappide vahel ilma atmosfääri kokkupuute, parandades tootlikkust ja võimaldades tundlikke pindade keemiaid.

Uuringud, katsejooned ja spetsialiseeritud mikrotootmine

Kuigi suured kiibitootmisrajatised on kõige nähtavamad rakendused, kasutatakse vakuuülekande süsteeme ka R&D ja katse keskkondades - eriti seal, kus on vajalik ülikõrge puhtuse käsitsemine ja kontrollitud atmosfääri üleminekud. Laadimislukud ja ülekandekambrid on laialdaselt tunnustatud kui olulised ehitusplokid vakuu-põhistes pooljuhtide tootmisvoogudes.

Eelised / Kasud

Vähendatud tööriistade ventileerimine ja paranenud tootlikkus

Vakuuülekande platvormide peamine eelis on see, et peamine protsessi vakuu keskkond võib jääda stabiilseks , samal ajal kui kiibid laaditakse/mahalaaditakse laadimisluugi kaudu. Tööstuse allikad kirjeldavad, kuidas kiibid siseneb/väljub laadimislukude kaudu, et tagada õige vakuu tase ja säilitada osakeste tundlikud tingimused.

Parema saastumise kontroll

Vakuuülekande ja kontrollitud laadimisluukide tsüklid aitavad vähendada osakeste sisenemist võrreldes peamise vakuu keskkonna korduva ventileerimisega. Vakuu tingimuste säilitamine ülekande ajal rõhutatakse laialdaselt kui oluline saastumise vältimiseks kiipide liikumise ajal kambrite vahel.

Korduv, automatiseeritud kiibi käsitsemine

Kasutades vakuurobotit ülekandekambris, muutub kiipide liikumine korduvaks ja vähem sõltuvaks käsitsi käsitsemisest - toetades kvaliteedi järjepidevust ja võimaldades kõrgemat automatiseerimise taset. Diagramm 600 avalikustatud vakuu roboti kaasamine vastab sellele standardsele lähenemisele.

Häälestamise ja paigutamise täpsuse tugi

Kaasa eelhäälestajat toetab järjepidevat suunamist ja paigutamist - oluline allavoolu protsesside jaoks, mis eeldavad teadaolevat kiibi suunda (nt, soon/lamedus teatud protsessivoogudes).

KKK jaotis

Mis on SIASUNi vakuuülekande platvorm Diagramm 600 (Diagramm 600)?

See on vakuu kiibiülekande platvorm , mis on mõeldud pooljuhtide rajatiste jaoks, kirjeldatud kui süsteem, mis hõlbustab kiipide ülekandmist ja sisaldab laadimis/mahalaadimisruume, ülekandekambrit, eelhäälestajat ja vakuurobotit, koos vakuu eemaldamise/tagasitäitmise funktsioonidega.

Kuidas Diagramm 600 töötab?

Tüüpilises töövoos üleminevad kiibid läbi laadimislukukambrite , mis tsüklitavad atmosfäärirõhu ja vakuu vahel, seejärel vakuurobotit liigutab kiibid Ülekandekambris allavoolu tööriistade liidestesse. Diagramm 600 on kirjeldatud, et see sisaldab neid põhikomponente, mis on kooskõlas tavaliste vakuuülekande arhitektuuridega.

Miks on vakuuülekande platvorm pooljuhtide tootmises oluline?

Vakuuülekande platvormid aitavad hoida tundlikke protsessi keskkondi stabiilsetena, kasutades laadimislukke ja vakuuülekandekambreid, vähendades vajadust peamiste vakuu moodulite ventileerimise järele ja toetades osakeste tundlikke tootmistingimusi.

Mis on laadimisluugi ja ülekandekambri roll Diagramm 600-s?

Laadimislukud pakuvad kontrollitud rõhu üleminekut kiipidele, kes siseneb/väljub vakuu süsteemist, samas kui ülekandekamber on vakuu keskkond, kus toimub sisemine robotite käsitsemine. Seda jaotust kirjeldatakse laialdaselt pooljuhtide vakuuülekande viidetes.

Millised on Diagramm 600 eelised?

Põhinedes selle kirjeldatud arhitektuuril, hõlmavad eelised vakuu-põhist kiibiülekannet, vakuu eemaldamist/tagasitäitmist puhtuse jaoks, robotite käsitsemistja eelhäälestamist- kõik toetavad korduvat ja saastumise kontrollitud liikumist pooljuhtide töötlusprotsessides.

Kokkuvõte

SIASUNi vakuuülekande platvorm Diagramm 600 (Diagramm 600) esitatakse kui pooljuhtidele suunatud vakuu kiibiülekande süsteem , mis on ehitatud ümber tavalise vakuu tööriista arhitektuuri: laadimislukud (laadimis/mahalaadimisruumid), vakuu ülekandekamber, vakuu robot ja eelhäälestaja, koos vakuu eemaldamise ja tagasitäitmise funktsioonid, mis on suunatud kõrge puhtuse käsitsemisele. Nagu paljude vakuuülekande platvormide puhul, seisneb selle väärtus kontrollitud, korduvate kiipide liikumise võimaldamises vakuu, toetades stabiilseid protsessi keskkondi ja saastumise tundlikke tootmisvooge.